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利用纳米球提高红外波长上转换探测器效率

刘顺瑞 聂照庭 张明磊 王丽 冷雁冰 孙艳军

利用纳米球提高红外波长上转换探测器效率

刘顺瑞, 聂照庭, 张明磊, 王丽, 冷雁冰, 孙艳军
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  • 在红外波长上转换探测器氮化硅(SiNx)钝化层制作单层六角密排的二氧化硅(SiO2)纳米球阵列,以提高红外波长上转换探测器的整体效率.采用自组装的方法在器件钝化层上制备了直径分别约为300,450,750和1000 nm的SiO2纳米球,并与无表面微纳结构器件进行对比测试.结果表明:钝化层附着SiO2纳米球能有效地提高红外波长上转换器的光提取效率;当SiO2纳米球直径为750 nm时的光提取效率最优,是无表面微纳结构器件的2.6倍,可实现低成本制作高效率红外波长上转换探测器.
      通信作者: 孙艳军, custsun@126.com
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:11474037,11474041)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2017-03-09
  • 修回日期:  2017-06-21
  • 刊出日期:  2017-09-20

利用纳米球提高红外波长上转换探测器效率

  • 1. 长春理工大学光电工程学院, 长春 130022;
  • 2. 长春理工大学电子信息工程学院, 长春 130022
  • 通信作者: 孙艳军, custsun@126.com
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:11474037,11474041)资助的课题.

摘要: 在红外波长上转换探测器氮化硅(SiNx)钝化层制作单层六角密排的二氧化硅(SiO2)纳米球阵列,以提高红外波长上转换探测器的整体效率.采用自组装的方法在器件钝化层上制备了直径分别约为300,450,750和1000 nm的SiO2纳米球,并与无表面微纳结构器件进行对比测试.结果表明:钝化层附着SiO2纳米球能有效地提高红外波长上转换器的光提取效率;当SiO2纳米球直径为750 nm时的光提取效率最优,是无表面微纳结构器件的2.6倍,可实现低成本制作高效率红外波长上转换探测器.

English Abstract

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