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热处理CZ-Si中新施主与氧沉淀产物的对应关系

李家全 肖治纲 柯俊

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热处理CZ-Si中新施主与氧沉淀产物的对应关系

李家全, 肖治纲, 柯俊

RELATIONSHIP BETWEEN NEW DONOR AND OXIDE PRECl-PITATES IN ANNEALED CZ-SILICON

LI JIA-QUAN, XIAO ZHI-GANG, KE JUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-09-02
  • 刊出日期:  2005-07-08

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