搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

GexSi1-x/Si超晶格的X射线小角衍射分析

周国良 沈孝良 盛篪 蒋维栋 俞鸣人

引用本文:
Citation:

GexSi1-x/Si超晶格的X射线小角衍射分析

周国良, 沈孝良, 盛篪, 蒋维栋, 俞鸣人

SMALL-ANGLE X-RAY DIFFRACTION ANALYSIS OF GexSi1-x/Si SUPERLATTICE

ZHOU GUO-LIANG, SHEN XIAO-LIANG, SHENG CHI, JIANG WEI-DONG, YU MING-REN
PDF
导出引用
  • 用分子束外延生长了23周期的GexSi1-x/Si超晶格,用计算机控制的衍射仪(CuKa辐射)测量了X射线衍射曲线,共观察到13级超晶格结构的衍射峰。超晶格的周期和Ge平均含量可以根据考虑折射修正的布喇格定律得出。用光学多层膜反射理论分析衍射曲线可以确定超晶格的结构参数,第2级衍射峰与第一级峰的强度比对应于超晶格两种材料的相对厚度变化非常灵敏,通过比较实验和计算的I2/I1值,可以确定Si,GexSi1-x层的厚度以及合金组份x。用光学多层膜反射理谁计算得到的衍射曲线与实验曲线趋于一致。
    The GexSi1-x/Si superlattice with 23 periods was grown by molecular beam epitaxy. The X-ray diffraction pattern was measured using a computer-controlled X-ray diffractometer with Cu Ka radiation. Interference peaks due to the superlattice structure were observed up to the 13th order. The superlattice period and the Ge average composition can be determined from the interference peak angles based on a modified Bragg's law, which was derived by including the X-ray refraction at the superlattice surface and interfaces. The structural parameter can be determined by analyzing the X-ray diffraction pattern based on the optical multilayer reflection theory. The intensity ratio of the 2nd peak to the 1st peak is quite sensitive to the variation of the thickness ratio of the two components. By comparing the calculated value of I2/I1 to the experiment, we can determine the thicknesses of Si and GexSi1-x layers, and finallv x. The diffraction pattern calculated using the optical mutilayer reflection theory was in accordance with the measured ones.
    • 基金项目: 国家自然科学基金
计量
  • 文章访问数:  3692
  • PDF下载量:  715
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1990-01-13
  • 刊出日期:  2005-06-28

GexSi1-x/Si超晶格的X射线小角衍射分析

  • 1. (1)复旦大学表面物理实验室,上海,200433; (2)复旦大学分析测试中心
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 用分子束外延生长了23周期的GexSi1-x/Si超晶格,用计算机控制的衍射仪(CuKa辐射)测量了X射线衍射曲线,共观察到13级超晶格结构的衍射峰。超晶格的周期和Ge平均含量可以根据考虑折射修正的布喇格定律得出。用光学多层膜反射理论分析衍射曲线可以确定超晶格的结构参数,第2级衍射峰与第一级峰的强度比对应于超晶格两种材料的相对厚度变化非常灵敏,通过比较实验和计算的I2/I1值,可以确定Si,GexSi1-x层的厚度以及合金组份x。用光学多层膜反射理谁计算得到的衍射曲线与实验曲线趋于一致。

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回