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薄膜应力测定的X射线掠射法

徐可为 高润生 于利根 何家文

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薄膜应力测定的X射线掠射法

徐可为, 高润生, 于利根, 何家文

THIN FILM STRESS EVALUATION BY A GLANCING X-RAY BEAM

XU KE-WEI, GAO RUN-SHENG, YU LI-GEN, HE JIA-WEN
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-09-02
  • 刊出日期:  1994-04-05

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