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热灯丝CVD金刚石膜硼掺杂效应研究

廖克俊 王万录 张振刚 吴彬

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热灯丝CVD金刚石膜硼掺杂效应研究

廖克俊, 王万录, 张振刚, 吴彬

STUDY OF BORON-DOPED DIAMOND FILMS BY HOT FILAMENT CVD

LIAO KE-JUN, WANG WAN-LU, ZHANG ZHEN-GANG, WU BIN
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-08-09
  • 刊出日期:  1996-05-05

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