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薄栅氧化层经时击穿的参数表征研究

刘红侠 郝 跃

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薄栅氧化层经时击穿的参数表征研究

刘红侠, 郝 跃

STUDY ON PARAMETER CHARACTERIZATION OF THIN GATE OXIDE TDDB BREAKDOWN

LIU HONG-XIA, HAO YUE
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-10-25
  • 修回日期:  1999-11-20
  • 刊出日期:  2000-03-05

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