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动态应力下超薄栅氧化层经时击穿的可靠性评价

栾苏珍 刘红侠 贾仁需

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动态应力下超薄栅氧化层经时击穿的可靠性评价

栾苏珍, 刘红侠, 贾仁需

The dynamic reliability of ultra-thin gate oxide and its breakdown characteristics

Luan Su-Zhen, Liu Hong-Xia, Jia Ren-Xu
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-05
  • 修回日期:  2007-11-30
  • 刊出日期:  2008-02-05

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