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氮原子、分子与团簇离子注入Si(111)的特性研究

王培录 刘仲阳 郑思孝 廖小东 杨朝文 唐阿友 师勉恭 杨百方 缪竞威

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氮原子、分子与团簇离子注入Si(111)的特性研究

王培录, 刘仲阳, 郑思孝, 廖小东, 杨朝文, 唐阿友, 师勉恭, 杨百方, 缪竞威

STUDIES ON THE FEATURE OF Si(111) SURFACE IMPLANTED BY NITROGEN ATOM,MOLECULE AND CLUSTER IONS

WANG PEI-LU, LIU ZHONG-YANG, ZHENG SI-XIAO, LIAO XIAO-DONG, YANG CHAO-WEN, TANG A-YOU, SHI MIAN-GONG, YANG BEI-FANG, MIAO JING-WEI
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-11-25
  • 刊出日期:  2001-05-20

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