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溅射粒子能量对金属Mo薄膜表面特性的影响

齐红基 易 葵 贺洪波 邵建达

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溅射粒子能量对金属Mo薄膜表面特性的影响

齐红基, 易 葵, 贺洪波, 邵建达

The effect of sputtering particle energy on surface characteristics of Mo thin films

Qi Hong- Ji, Yi Kui, He Hong- Bo, Shao Jian- Da
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-10-17
  • 修回日期:  2004-06-02
  • 刊出日期:  2004-06-05

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