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微晶硅薄膜的结构及光学性质的研究

郜小勇 李 瑞 陈永生 卢景霄 刘 萍 冯团辉 王红娟 杨仕娥

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微晶硅薄膜的结构及光学性质的研究

郜小勇, 李 瑞, 陈永生, 卢景霄, 刘 萍, 冯团辉, 王红娟, 杨仕娥

Study of the structural and optical properties of microcrystalline silicon film

Gao Xiao-Yong, Li Rui, Chen Yong-Sheng, Lu Jing-Xiao, Liu Ping, Feng Tuan-Hui, Wang Hong-Juan, Yang Shi-E
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-01-07
  • 修回日期:  2005-04-22
  • 刊出日期:  2006-01-20

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