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VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究

张晓丹 赵 颖 朱 锋 魏长春 吴春亚 高艳涛 侯国付 孙 建 耿新华 熊绍珍

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VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究

张晓丹, 赵 颖, 朱 锋, 魏长春, 吴春亚, 高艳涛, 侯国付, 孙 建, 耿新华, 熊绍珍

A study of Raman and optical emission spectroscopy on microcrystalline silicon films deposited by VHF-PECVD

Zhang Xiao-Dan, Zhao Ying, Zhu Feng, Wei Chang-Chun, Wu Chun-Ya, Gao Yan-Tao, Hou Guo-Fu, Sun Jian, Geng Xin-Hua, Xiong Shao-Zhen
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-02-13
  • 修回日期:  2004-04-26
  • 刊出日期:  2005-01-19

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