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微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性研究

张发荣 张晓丹 Amanatides E. Mataras D. 赵 静 赵 颖

引用本文:
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微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性研究

张发荣, 张晓丹, Amanatides E., Mataras D., 赵 静, 赵 颖

Study on the optical and electrical properties of plasma for the deposition of microcrystalline silicon

Zhang Fa-Rong, Zhang Xiao-Dan, Amanatides E., Mataras D., Zhao Jing, Zhao Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-08-17
  • 修回日期:  2007-09-18
  • 刊出日期:  2008-05-28

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