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热丝辅助双偏压氢等离子体制造金刚石锥状表面研究

孟 亮 张 杰 朱晓东 温晓辉 丁 芳

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热丝辅助双偏压氢等离子体制造金刚石锥状表面研究

孟 亮, 张 杰, 朱晓东, 温晓辉, 丁 芳

Formations of conic surfaces on diamond films induced by hot filament assisted double-bias hydrogen plasma

Meng Liang, Zhang Jie, Zhu Xiao-Dong, Wen Xiao-Hui, Ding Fang
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-05-23
  • 修回日期:  2007-10-25
  • 刊出日期:  2008-02-05

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