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微波等离子体化学气相沉积合成掺氮金刚石薄膜的缺陷和结构特征及其生长行为

刘燕燕 E. Bauer-Grosse 张庆瑜

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微波等离子体化学气相沉积合成掺氮金刚石薄膜的缺陷和结构特征及其生长行为

刘燕燕, E. Bauer-Grosse, 张庆瑜

Structure and growth behavior of low N-doped diamond film by microwave plasma assisted chemical vapor deposition

Liu Yan-Yan, Bauer-Grosse E., Zhang Qing-Yu
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-06-14
  • 修回日期:  2006-10-27
  • 刊出日期:  2007-02-05

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