表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

肖 夏; 尤学一; 姚素英

doi:10.7498/aps.56.2428

搜索

期刊名称:

年:

起始页:

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

肖夏 , 尤学一 , 姚素英

引用本文:

Citation:

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

肖夏, 尤学一, 姚素英

物理学报, 2007, 56(4): 2428-2433.

doi: 10.7498/aps.56.2428

Dispersion feature in arbitrary direction of surface acoustic wave applied to property characterization of ultra-large-scale integrated circuit interconnect films

Xiao Xia, You Xue-Yi, Yao Su-Ying

Acta Phys. Sin., 2007, 56(4): 2428-2433.

doi: 10.7498/aps.56.2428

摘要
利用声表面波(SAW)的频散特性来表征超大规模集成电路(ULSI)互连系统中低介电常数(k)薄膜的物性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点.研究了Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中，SAW沿任意方向传播的色散关系.引入坐标变换后，单层薄膜特征矩阵从9阶降到6阶，双层薄膜特征矩阵从15阶降到10阶，大幅度提高了计算速度，有利于生产ULSI过程中的在线监测.

关键词:
超大规模集成电路 /

声表面波 /

传输方向 /

频散特性
Abstract
The ultrasonic surface acoustic wave (SAW) technique is becoming attractive for accurate and nondestructive property determination for thin low-k films employed in the modern ultra-large-scale integrated circuit (ULSI). In this paper, the dispersive characteristics of SAW propagating along arbitrary directions on the layered films deposited on Si(100) were studied in detail. The computation time was reduced greatly by appling coodinate transformation. The calculation of 9×9 Christoffel matrix was simplified to 6×6 matrix for one film layer structure, and from 15×15 matrix to 10×10 matrix for two-layered structure. This work will benefit the on-line test of low-k film properties during ULSI fabrication. Furthermore, the limitation on the propagating direction of SAW can be eliminated in the measurement.

Keywords:
ultra-large-scale integrated circuits /

surface acoustic wave /

propagation direction /

dispersion feature
作者及机构信息
肖夏¹,

尤学一²,

姚素英¹

(1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072

基金项目: 国家自然科学基金 (批准号：60406003)和天津市自然科学基金(批准号：043612311)资助的课题.
Authors and contacts
Xiao Xia¹,

You Xue-Yi²,

Yao Su-Ying¹

(1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072
参考文献

施引文献

[1]	郝望, 段睿, 杨坤德. 联合简正波水波和底波频散特性的贝叶斯地声参数反演. 物理学报, 2023, 72(5): 054303. doi: 10.7498/aps.72.20221717
[2]	谭自豪, 孙小伟, 宋婷, 温晓东, 刘禧萱, 刘子江. 球形复合柱表面波声子晶体的带隙特性仿真. 物理学报, 2021, 70(14): 144301. doi: 10.7498/aps.70.20210165
[3]	苏娜娜, 韩庆邦, 蒋謇. 无限流体中孔隙介质圆柱周向导波的传播特性. 物理学报, 2019, 68(8): 084301. doi: 10.7498/aps.68.20182300
[4]	马琦, 胡文祥, 徐琰锋, 王浩. 流体-镀层基底界面波的传播特性. 物理学报, 2017, 66(8): 084302. doi: 10.7498/aps.66.084302
[5]	秦晨, 余辉, 叶乔波, 卫欢, 江晓清. 基于绝缘体上硅的一种改进的Mach-Zehnder声光调制器. 物理学报, 2016, 65(1): 014304. doi: 10.7498/aps.65.014304
[6]	郝娟, 周广刚, 马跃, 黄文奇, 张鹏, 卢贵武. 高温条件下Ga3PO7晶体热学及声表面波性质的理论研究. 物理学报, 2016, 65(11): 113101. doi: 10.7498/aps.65.113101
[7]	曾伟, 王海涛, 田贵云, 胡国星, 汪文. 研究激光激发的声表面波与材料近表面缺陷的振荡效应. 物理学报, 2015, 64(13): 134302. doi: 10.7498/aps.64.134302
[8]	钱莉荣, 杨保和. ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析. 物理学报, 2013, 62(11): 117701. doi: 10.7498/aps.62.117701
[9]	周振凯, 韦利明, 丰杰. ZnO/Diamond/Si结构中声表面波传播特性分析. 物理学报, 2013, 62(10): 104601. doi: 10.7498/aps.62.104601
[10]	李富才, 孟光. 窄频带Lamb波频散特性研究. 物理学报, 2008, 57(7): 4265-4272. doi: 10.7498/aps.57.4265
[11]	李宏, 郭华忠, 路川, 李玲, 高洁. 声表面波单电子输运器件中量子线的电学特性研究. 物理学报, 2008, 57(9): 5863-5868. doi: 10.7498/aps.57.5863
[12]	王敬时, 徐晓东, 刘晓峻, 许钢灿. 利用激光超声技术研究表面微裂纹缺陷材料的低通滤波效应. 物理学报, 2008, 57(12): 7765-7769. doi: 10.7498/aps.57.7765
[13]	杨光, Santos Paulo V.. 磁控溅射制备ZnO薄膜及其声表面波特性. 物理学报, 2007, 56(6): 3515-3520. doi: 10.7498/aps.56.3515
[14]	刘明海, 菅井秀郎, 胡希伟, 石岛芳夫, 江中和, 李斌, 但敏. 大面积表面波等离子体的特性研究. 物理学报, 2006, 55(11): 5905-5908. doi: 10.7498/aps.55.5905
[15]	杨光, P. V. Santos. 声表面波对GaAs(110)量子阱发光特性的调制. 物理学报, 2006, 55(8): 4327-4331. doi: 10.7498/aps.55.4327
[16]	宗兆翔, 杜磊, 庄奕琪, 何亮, 吴勇. 超大规模集成电路互连电迁移自由体积电阻模型. 物理学报, 2005, 54(12): 5872-5878. doi: 10.7498/aps.54.5872
[17]	贺朝会, 耿斌, 何宝平, 姚育娟, 李永宏, 彭宏论, 林东生, 周辉, 陈雨生. 大规模集成电路总剂量效应测试方法初探. 物理学报, 2004, 53(1): 194-199. doi: 10.7498/aps.53.194
[18]	王奇, 鲍家善, 蔡英时, A. D. BOARDMAN. 非线性静磁表面波的传播特性. 物理学报, 1993, 42(12): 2005-2013. doi: 10.7498/aps.42.2005
[19]	王佐卿, 周素华, 汪承浩. 声表面波在声栅上的Bragg衍射. 物理学报, 1983, 32(2): 156-167. doi: 10.7498/aps.32.156
[20]	霍崇儒, 黄锡毅. 利用表面波的差频以产生远红外辐射. 物理学报, 1980, 29(12): 1581-1587. doi: 10.7498/aps.29.1581

计量

文章访问数: 6913
PDF下载量: 1118
被引次数: 0

物理学报. 2007, 56(4): 2428-2433.

doi: 10.7498/aps.56.2428.

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

1. (1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072

基金项目: 国家自然科学基金 (批准号：60406003)和天津市自然科学基金(批准号：043612311)资助的课题.

收稿日期: 2006-07-03
修回日期: 2006-12-08
刊出日期: 2007-02-05

摘要: 利用声表面波(SAW)的频散特性来表征超大规模集成电路(ULSI)互连系统中低介电常数(k)薄膜的物性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点.研究了Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中，SAW沿任意方向传播的色散关系.引入坐标变换后，单层薄膜特征矩阵从9阶降到6阶，双层薄膜特征矩阵从15阶降到10阶，大幅度提高了计算速度，有利于生产ULSI过程中的在线监测.

关键词:

English Abstract

全文HTML

下载: 全尺寸图片幻灯片

返回文章

搜索

留言板

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

Dispersion feature in arbitrary direction of surface acoustic wave applied to property characterization of ultra-large-scale integrated circuit interconnect films

摘要

Abstract

作者及机构信息

(1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072

Authors and contacts

(1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072

参考文献

施引文献

目录

计量

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

English Abstract

Dispersion feature in arbitrary direction of surface acoustic wave applied to property characterization of ultra-large-scale integrated circuit interconnect films

1.
(1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072

全文HTML

目录

作者中心

审稿中心

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

Dispersion feature in arbitrary direction of surface acoustic wave applied to property characterization of ultra-large-scale integrated circuit interconnect films

摘要

Abstract

作者及机构信息

(1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072

Authors and contacts

(1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

English Abstract

Dispersion feature in arbitrary direction of surface acoustic wave applied to property characterization of ultra-large-scale integrated circuit interconnect films

1. (1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072

全文HTML

目录

作者中心

审稿中心

关于期刊

关于我们

1.
(1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072