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无基底焦平面阵列的红外成像性能分析

程腾 张青川 陈大鹏 伍小平 史海涛 高杰

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无基底焦平面阵列的红外成像性能分析

程腾, 张青川, 陈大鹏, 伍小平, 史海涛, 高杰

Performance analysis of the substrate-free focal plane array in infrared imaging

Cheng Teng, Zhang Qing-Chuan, Chen Da-Peng, Wu Xiao-Ping, Shi Hai-Tao, Gao Jie
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-03-27
  • 修回日期:  2008-06-12
  • 刊出日期:  2009-01-05

无基底焦平面阵列的红外成像性能分析

  • 1. (1)中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥 230027; (2)中国科学院微电子研究所,北京 100029
    基金项目: 国家自然科学基金仪器专项基金(批准号:10627201)、国家自然科基金重点项目(批准号:10732080)和国家重大基础研究发展计划(批准号:2006CB300404)资助的课题.

摘要: 利用提出的光学读出非制冷红外成像系统,先后制作了单元尺寸各不相同的单层膜无基底焦平面阵列(focal plane array,FPA),获得了室温物体的热图像.分析发现,当FPA的单元尺寸从200μm逐渐减小到60μm时,基于恒温基底模型的理论响应与实验结果的偏差逐渐增大.通过有限元分析方法,模拟分析了不同尺寸的微梁单元在无基底FPA中的热学行为,发现了当单元尺寸逐渐减小时恒温基底模型偏差逐渐增大的原因,即无基底FPA的支撑框架不满足恒温基底条件,受热辐射后支撑框架的温升从基底上抬高了单元的温升.论文还分

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