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堆叠栅介质对称双栅单Halo应变Si金属氧化物半导体场效应管二维模型

辛艳辉 刘红侠 王树龙 范小娇

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堆叠栅介质对称双栅单Halo应变Si金属氧化物半导体场效应管二维模型

辛艳辉, 刘红侠, 王树龙, 范小娇

Two-dimensional model of symmetrical double-gate strained Si single Halo metal-oxide semiconductor field effect transistor with gate stack dielectric

Xin Yan-Hui, Liu Hong-Xia, Wang Shu-Long, Fan Xiao-Jiao
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-06-20
  • 修回日期:  2014-08-14
  • 刊出日期:  2014-12-05

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