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基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究

刘世元 顾华勇 张传维 沈宏伟

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基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究

刘世元, 顾华勇, 张传维, 沈宏伟

A fast algorithm for reflectivity calculation of micro/nano deep trench structures by corrected effective medium approximation

Liu Shi-Yuan, Gu Hua-Yong, Zhang Chuan-Wei, Shen Hong-Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-12-27
  • 修回日期:  2008-02-25
  • 刊出日期:  2008-09-20

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