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绝缘层上半导体多晶膜激光再结晶临界条件

冷静民;钱佑华;林成鲁;方芳

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绝缘层上半导体多晶膜激光再结晶临界条件

冷静民;钱佑华;林成鲁;方芳

A STUDY ON THE CRITICAL CONDITION OF LASER RECRYSTALLIZATION FOR POLY-CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM ON INSULATING SUBSTRATE

Le Jing-min; Qian You-hua; Lin Cheng-lu; Fang Fang
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出版历程
  • 修回日期:  2013-09-01
  • 刊出日期:  1987-04-05

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