YBCO半导体薄膜及Bolometer特性

刘景和; 孙  强; 刘向东; 刑宏岩; 李建利; 李国桢; 黄宗坦; 黄承彩; 李  丹; 黄江平

doi:10.7498/aps.49.2017

摘要
就Si为衬底的钇钡铜氧(分子式：Y1Ba2Cu3O7-δ ，δ≥05，简称YBCO)薄膜的半导体性质，及用于红外测辐射热计(Bolometer)的探测性能进行了研究.通过测定温度电阻系数(TCR)和霍尔(Hall)系数，并采用XRD、拉曼散射光谱等手段分析了YBCO半导体薄膜的微观结构和光谱响应特性，认为该薄膜是非制冷红外焦平面的新型探测元材料.

关键词:
YBCO半导体薄膜 /

测辐射热计 /

温度电阻系数
Abstract
We have studied the semiconducting property of the Y1Ba2Cu 3O7-δ(δ≥05, abbreviated YBCO) thin film which is depo sited on Si substrate and the characteristics of the bolometer using the film to detect IR radiation. We measured TCR merit and Hall coefficient and analyzed th e microstructure and the responsive characteristics of the YBCO semiconducting t hin film through XRD and Raman spectrum. We believe that the thin film is a new sensing material which can be applied to uncooled infrared focal plane bolometers.

Keywords:
semiconducting YBCO thin film /

bolometer /

temperatue coefficient of resistance
作者及机构信息
刘景和¹,

孙强¹,

刘向东¹,

刑宏岩¹,

李建利¹,

李国桢²,

黄宗坦²,

黄承彩²,

李丹²,

黄江平²

(1)长春光学精密机械学院，长春 130022; (2)昆明物理研究所，昆明 650023
Authors and contacts
LIU JING-HE¹,

SUN QIANG¹,

LIU XIANG-DONG¹,

XING HONG-YAN¹,

LI JIAN-LI¹,

LI GUO-ZHEN²,

HUANG ZONG-TAN²,

HUANG CHENG-CAI²,

LI DAN²,

HUANG JIANG-PING²

(1)长春光学精密机械学院，长春 130022; (2)昆明物理研究所，昆明 650023
参考文献

施引文献

[1]	宗志成, 潘东楷, 邓世琛, 万骁, 杨哩娜, 马登科, 杨诺. 混合失配模型预测金属/半导体界面热导. 物理学报, 2023, 72(3): 034401. doi: 10.7498/aps.72.20221981
[2]	牛青辰, 苟君, 王军, 蒋亚东. 钛圆盘阵列增强微测辐射热计太赫兹波吸收特性. 物理学报, 2019, 68(20): 208501. doi: 10.7498/aps.68.20190902
[3]	杨伟, 梁继然, 刘剑, 姬扬. 在半导体-金属相变温度附近氧化钒薄膜光学性质的异常变动. 物理学报, 2014, 63(10): 107104. doi: 10.7498/aps.63.107104
[4]	王照亮, 唐大伟, 贾涛, 毛安民. 3ω法加热/测温膜中温度波解析及其在微/纳米薄膜导热系数测量中的应用. 物理学报, 2007, 56(2): 747-754. doi: 10.7498/aps.56.747
[5]	李金华, 袁宁一, 谢太斌, 但迪迪. 超高温度系数V0.97W0.03 O2多晶薄膜的制备研究. 物理学报, 2007, 56(3): 1790-1795. doi: 10.7498/aps.56.1790
[6]	吴坚. AlInGaAs垂直谐振腔顶面发射半导体激光器横向温度效应的解析热模型及其表征. 物理学报, 2006, 55(11): 5848-5854. doi: 10.7498/aps.55.5848
[7]	韩鹏, 金奎娟, 周岳亮, 周庆莉, 王旭, 赵嵩卿, 马中水. GaAs/Ga1-xAlxAs半导体量子阱光辐射-热离子制冷. 物理学报, 2005, 54(9): 4345-4349. doi: 10.7498/aps.54.4345
[8]	李　勇, 闻　平, 刘振兴, 景秀年, 王万录, 白海洋. 块体金属玻璃Zr46.75Ti8.25Cu7.5Ni10Be27.5的超导与负电阻温度系数. 物理学报, 2004, 53(3): 844-849. doi: 10.7498/aps.53.844
[9]	李金华, 袁宁一. 离子束增强沉积VO2多晶薄膜的温度系数. 物理学报, 2004, 53(8): 2683-2686. doi: 10.7498/aps.53.2683
[10]	李金华, 袁宁一, 陈王丽华, 林成鲁. 用离子束增强沉积从V2O5粉末制备高热电阻温度系数VO_2薄膜. 物理学报, 2002, 51(8): 1788-1792. doi: 10.7498/aps.51.1788
[11]	王剑屏, 徐娜军, 张廷庆, 汤华莲, 刘家璐, 刘传洋, 姚育娟, 彭宏论, 何宝平, 张正选. 金属-氧化物-半导体器件γ辐照温度效应. 物理学报, 2000, 49(7): 1331-1334. doi: 10.7498/aps.49.1331
[12]	顾梅梅, 张鹏翔, 李国桢. 超巨磁阻测辐射热仪. 物理学报, 2000, 49(8): 1567-1573. doi: 10.7498/aps.49.1567
[13]	王晓平, 赵特秀, 季航, 梁齐, 叶坚, 刘磁辉, 王顺喜. MoSi_x多层薄膜电阻率温度系数及电子的弱局域性研究. 物理学报, 1995, 44(2): 305-311. doi: 10.7498/aps.44.305
[14]	王晓平, 赵特秀, 季航, 梁齐, 董翊. 晶粒尺寸对薄膜电阻率温度系数的影响. 物理学报, 1994, 43(2): 297-302. doi: 10.7498/aps.43.297
[15]	黄洪斌. 半导体中激子的叠加态及其复合辐射. 物理学报, 1993, 42(7): 1141-1148. doi: 10.7498/aps.42.1141
[16]	吕曼祺, A. WAGENDRISTEL. 非晶Nd-Fe薄膜电阻的温度效应与非晶稳定性. 物理学报, 1993, 42(5): 840-846. doi: 10.7498/aps.42.840
[17]	黄洪斌. 半导体中的双激子压缩态及其复合辐射. 物理学报, 1990, 39(12): 1970-1981. doi: 10.7498/aps.39.1970
[18]	阎守胜, 王晓谦, 李晓宇, 柴寿森, 李依依. Fe-25Mn—5Al-0.2C合金低温电阻率的负温度系数行为. 物理学报, 1983, 32(8): 1082-1085. doi: 10.7498/aps.32.1082
[19]	曹效文, 李玉芝, 夏健生, 张裕恒. 非晶态超导体的转变温度和霍耳系数之间的经验关系. 物理学报, 1980, 29(8): 987-991. doi: 10.7498/aps.29.987
[20]	丁守谦. 四深针法测半导体电阻率的探针游移误差. 物理学报, 1966, 22(7): 798-808. doi: 10.7498/aps.22.798

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YBCO半导体薄膜及Bolometer特性

STUDY ON SEMICONDUCTING YBCO THIN FILM AND CHARACTERISTICS OF BOLOMETER

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(1)长春光学精密机械学院，长春 130022; (2)昆明物理研究所，昆明 650023

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