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离子注入和固相外延制备Si1-x-yGexCy半导体薄膜

刘雪芹 王印月 甄聪棉 张静 杨映虎 郭永平

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离子注入和固相外延制备Si1-x-yGexCy半导体薄膜

刘雪芹, 王印月, 甄聪棉, 张静, 杨映虎, 郭永平

Liu Xue-Qin, Wang Yin-Yue, Zhen Cong-Mian, Zhang Jing, Yang Ying-Hu, Guo Yong-Ping
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-12-25
  • 修回日期:  2002-03-06
  • 刊出日期:  2002-05-05

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