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不同能级加速过滤电弧沉积四面体非晶碳膜的结构和性能

朱嘉琦 王景贺 孟松鹤 韩杰才 张连生

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不同能级加速过滤电弧沉积四面体非晶碳膜的结构和性能

朱嘉琦, 王景贺, 孟松鹤, 韩杰才, 张连生

The microstructure and properties of tetrahedral amorphous carbon films deposited by filtered arc with accelerating at different energetic grades

Zhu Jia-Qi, Wang Jing-He, Meng Song-He, Han Jie-Cai, Zhang Lian-Sheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-04-15
  • 修回日期:  2003-06-29
  • 刊出日期:  2004-02-05

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