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沟槽形状对硅基沟槽式肖特基二极管电学特性的影响

翟东媛 赵毅 蔡银飞 施毅 郑有炓

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沟槽形状对硅基沟槽式肖特基二极管电学特性的影响

翟东媛, 赵毅, 蔡银飞, 施毅, 郑有炓

Effect of the trench shape on the electrical properties of silicon based trench barrier schottky diode

Zhai Dong-Yuan, Zhao Yi, Cai Yin-Fei, Shi Yi, Zheng You-Dou
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-01-24
  • 修回日期:  2014-03-08
  • 刊出日期:  2014-06-05

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