基于X射线衍射的GaN薄膜厚度的精确测量
物理学报
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物理学报  2008, Vol. 57 Issue (11): 7119-7125
凝聚物质:结构、热学和力学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
基于X射线衍射的GaN薄膜厚度的精确测量
李洪涛, 罗 毅, 席光义, 汪 莱, 江 洋, 赵 维, 韩彦军, 郝智彪, 孙长征
清华信息科学与技术国家实验室(筹)/集成光电子学国家重点实验室,清华大学电子工程系,北京 100084
Thickness measurement of GaN films by X-ray diffraction
Li Hong-Tao, Luo Yi, Xi Guang-Yi, Wang Lai, Jiang Yang, Zhao Wei, Han Yan-Jun, Hao Zhi-Biao, Sun Chang-Zheng
清华信息科学与技术国家实验室(筹)/集成光电子学国家重点实验室,清华大学电子工程系,北京 100084

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