铒离子注入碳化硅的射程和退火行为研究
物理学报
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物理学报  2011, Vol. 60 Issue (6): 066101
凝聚物质:结构、力学和热学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
铒离子注入碳化硅的射程和退火行为研究
秦希峰, 梁毅, 王凤翔, 李双, 付刚, 季艳菊
山东建筑大学理学院,济南 250101
Range and annealing behavior of Er ions implanted in SiC
Qin Xi-Feng, Liang Yi, Wang Feng-Xiang, Li Shuang, Fu Gang, Ji Yan-Ju
College of Science, Shandong Jianzhu University, Jinan 250101,China

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