搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

氮气氛下(100)织构金刚石薄膜的成核与生长研究

李灿华 王冠中 廖 源 常 超 方容川

氮气氛下(100)织构金刚石薄膜的成核与生长研究

李灿华, 王冠中, 廖 源, 常 超, 方容川
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  2668
  • PDF下载量:  648
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2000-02-01
  • 修回日期:  2000-04-20
  • 刊出日期:  2000-09-20

氮气氛下(100)织构金刚石薄膜的成核与生长研究

  • 1. (1)中国科学技术大学结构研究开放实验室,合肥 230026;中国科学技术大学物理系,合肥 230026; (2)中国科学技术大学物理系,合肥 230026
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:59771022,59976038)资助的课题.

摘要: 利用热丝化学气相沉积法研究了氮气浓度对金刚石薄膜成核和生长的影响.实验发现氮气的 加入对金刚石成核密度影响不大,但促进了已形成的金刚石核的长大.适量的氮气不仅使金 刚石生长速率得到很大的提高,而且稳定了金刚石薄膜(100)面的生长,使金刚石薄膜具有 更好的(100)织构.利用原位光发射谱对衬底附近的化学基团进行了研究.研究表明,氮气的 引入使得金刚石生长的气相化学和表面化学性质发生了很大变化.含氮基团的萃取作用提高 了金刚石表面氢原子的脱附速率,从而提高了金刚石膜的生长速率.而含氮基团的选择吸附 使金刚石

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回