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溅射粒子能量对金属Mo薄膜表面特性的影响

齐红基 易 葵 贺洪波 邵建达

溅射粒子能量对金属Mo薄膜表面特性的影响

齐红基, 易 葵, 贺洪波, 邵建达
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-10-17
  • 修回日期:  2004-06-02
  • 刊出日期:  2004-06-05

溅射粒子能量对金属Mo薄膜表面特性的影响

  • 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
    基金项目: 

    广东省自然科学基金(批准号:32469)和广州市科技计划项目(批准号:2004J1C0291) 资助的课题.

摘要: 利用原子力显微镜研究了不同溅射离子能量对Mo薄膜表面形貌的影响.利用特殊设计的夹具,在同一真空内完成所有薄膜样品的制备,减少了多次沉积过程对薄膜生长特性的影响 .对原子力显微镜测量得到的表面高度数据进行相关运算,从统计角度定量地研究了不同沉积能量下Mo薄膜表面特性.结果表明,薄膜表面具有典型的分形特征,在相关运算的基础上给出表面的分形维数、水平相关长度、界面宽度等参数.其中,屏栅电压为500V时制备 的薄膜样品与300和700?V时制备的薄膜样品表面的界面宽度及水平相关长度具有倍数差别,但三种溅射电压下薄

English Abstract

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