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射频磁控溅射法生长MgxZn1-xO薄膜的结构和光学特性

张锡健 马洪磊 王卿璞 马 瑾 宗福建 肖洪地 计 峰

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射频磁控溅射法生长MgxZn1-xO薄膜的结构和光学特性

张锡健, 马洪磊, 王卿璞, 马 瑾, 宗福建, 肖洪地, 计 峰

Structural and optical properties of MgxZn1-xO thin films deposited by radio frequency magnetron sputtering

Zhang Xi-Jian, Ma Hong-Lei, Wang Qing-Pu, Ma Jin, Zong Fu-Jian, Xiao Hong-Di, Ji Feng
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-10-15
  • 修回日期:  2005-01-10
  • 刊出日期:  2005-09-20

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