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掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究

赵栋才 任 妮 马占吉 邱家稳 肖更竭 武生虎

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掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究

赵栋才, 任 妮, 马占吉, 邱家稳, 肖更竭, 武生虎

Study on the mechanical properties of diamond like carbon films with Si doping

Zhao Dong-Cai, Ren Ni, Ma Zhan-Ji, Qiu Jia-Wen, Xiao Geng-Jie, Wu Sheng-Hu
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-05-29
  • 修回日期:  2007-08-04
  • 刊出日期:  2008-03-20

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