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类金刚石膜不同能量下的离子注入

项金钟 郑志豪 熊京 张仿清

类金刚石膜不同能量下的离子注入

项金钟, 郑志豪, 熊京, 张仿清
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-05-10
  • 刊出日期:  2005-06-22

类金刚石膜不同能量下的离子注入

  • 1. (1)兰州大学现代物理系,兰州,730001; (2)中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,上海,200050

摘要: 本文对等离子体气相沉积法制备的类金刚石膜(a-C:H)进行了离子注入研究。注入剂量固定为5×105Ar/cm2,注入能量分别为50,100,140和180keV。离子注入前后分别作了红外吸收谱,Raman谱,光学能隙,氢含量和电阻率的测量。结果表明,注入离子破坏了膜中的C—H键,sp2和sp3态都减少,而(sp2/sp3)比值增大;光学能隙Eopt,电阻

English Abstract

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