搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

a-C∶H(N)薄膜结构的X射线光电子能谱分析

程宇航 吴一平 陈建国 乔学亮 谢长生 杨业智 莫少波

a-C∶H(N)薄膜结构的X射线光电子能谱分析

程宇航, 吴一平, 陈建国, 乔学亮, 谢长生, 杨业智, 莫少波
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  3176
  • PDF下载量:  498
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1997-03-17
  • 修回日期:  1997-04-21
  • 刊出日期:  1998-01-20

a-C∶H(N)薄膜结构的X射线光电子能谱分析

  • 1. (1)华中理工大学塑性成型模拟及模具技术国家重点实验室,武汉 430074; (2)武汉大学分析测试中心,武汉 430072

摘要: 采用直流-射频等离子增强化学汽相沉积技术制备a-C∶H(N)薄膜,用X射线光电子能谱研究了混合气体中N2含量对薄膜成分与结构的影响.a-C∶H(N)薄膜中含氮量可达9.09%.对a-C∶H(N)薄膜的C1s和N1s结合能谱的分析表明a-C∶H(N)薄膜的结构是由C3N4相镶嵌在sp2键结合的CNx基体中组成.其中C3N4相中N和C原子比接近4∶3,不随薄

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回