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氮化铌纳米线光学特性

吴洋 陈奇 徐睿莹 葛睿 张彪 陶旭 涂学凑 贾小氢 张蜡宝 康琳 吴培亨

氮化铌纳米线光学特性

吴洋, 陈奇, 徐睿莹, 葛睿, 张彪, 陶旭, 涂学凑, 贾小氢, 张蜡宝, 康琳, 吴培亨
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  • 氮化铌(NbN)纳米线是超导纳米线单光子探测器(SNSPD)常用的光敏材料,其光学性质是影响SNSPD性能的关键因素.本文结合实验数据和仿真结果,系统研究了多种NbN超导纳米线探测器器件结构的光学特性,表征了以下四种器件结构下的反射光谱以及透射光谱:1)双面热氧化硅衬底背面对光结构;2)双面SiN硅衬底背面对光结构;3)硅衬底上以金层+SiN缓冲层为反射镜的正面对光结构;4)以分布式布拉格反射镜(DBR)为衬底的正面对光结构.并在上述四种器件结构基础上,生长了不同厚度的NbN薄膜,观察不同厚度NbN薄膜的吸收效率.经分析,发现在不同器件结构下的最佳NbN厚度与光吸收率的关系如下:双面热氧化硅衬底上的NbN层在1606 nm处最大吸收率为91.7%,其余结构在最佳NbN厚度条件下吸收率都能达到99%以上.其中双面SiN的硅衬底结构中最大吸收率为99.3%,mAu+SiN为99.8%,DBR为99.9%.最后,将DBR器件实测结果与仿真结果进行了差异性分析.这些结果对高效率SNSPD设计与研制具有指导意义.
    [1]

    Gol'tsman G N, Okunev O, Chulkova G, Lipatov A, Semenov A, Smirnov K, Voronov B, Dzardanov A, Williams C, Sobolewski R 2001 Appl. Phys. Lett. 79 705

    [2]

    Marsili F, Verma V B, Stern J A, Harrington S, Lita A E, Gerrits T, Vayshenker I, Baek B, Shaw M D, Mirin R P, Nam S W 2013 Nat. Photon. 7 210

    [3]

    Zhang L, Kang L, Chen J, Zhong Y, Zhao Q, Jia T, Cao C, Jin B, Xu W, Sun G, Wu P 2011 Appl. Phys. B 102 867

    [4]

    Wu J, You L, Chen S, Li H, He Y, Lv C, Wang Z, Xie X 2017 Appl. Opt. 56 2195

    [5]

    Korneeva Y, Florya I, Semenov A, Korneev A, Goltsman G 2011 IEEE Trans. Appl. Supercond. 21 323

    [6]

    Hadfield R H, Habif J L, Schlafer J, Schwall R E, Nam S W 2006 Appl. Phys. Lett. 89 241129

    [7]

    Takesue H, Nam S W, Zhang Q, Hadfield R H, Honjo T, Tamaki K, Yamamoto Y 2007 Nat. Photon. 1 343

    [8]

    Li H, Chen S, You L, Meng W, Wu Z, Zhang Z, Tang K, Zhang L, Zhang W, Yang X, Liu X, Wang Z, Xie X 2016 Opt. Express 24 3535

    [9]

    Xue L, Li Z, Zhang L, Zhai D, Li Y, Zhang S, Li M, Kang L, Chen J, Wu P, Xiong Y 2016 Opt. Lett. 41 3848

    [10]

    Grein M E, Kerman A J, Dauler E A, Shatrovoy O, Molnar R J, Rosenberg D, Devoe C E, Murphy D V, Robinson B S, Boroson D M 2011 Design of a Ground-Based Optical Receiver for the Lunar Laser Communications Demonstration Santa Monica, CA, USA, May 11-13, 2011 p78

    [11]

    Zhao Q, Xia L, Wan C, Hu J, Jia T, Gu M, Zhang L, Kang L, Chen J, Zhang X, Wu P 2015 Sci. Rep. 5 10441

    [12]

    Zhu J, Chen Y, Zhang L, Jia X, Feng Z, Wu G, Yan X, Zhai J, Wu Y, Chen Q, Zhou X, Wang Z, Zhang C, Kang L, Chen J, Wu P 2017 Sci. Rep. 7 1

    [13]

    Qiu J, Xia H, Shangguan M, Dou X, Li M, Wang C, Shang X, Lin S, Liu J 2017 Opt. Lett. 42 4454

    [14]

    Shangguan M, Xia H, Wang C, Qiu J, Lin S, Dou X, Zhang Q, Pan J W 2017 Opt. Lett. 42 3541

    [15]

    Li H, Zhang L, You L, Yang X, Zhang W, Liu X, Chen S, Wang Z, Xie X 2015 Opt. Express 23 17301

    [16]

    Anant V, Kerman A J, Dauler E A, Yang J K W, Rosfjord K M, Berggren K K 2008 Opt. Express 16 10750

    [17]

    Rosfjord K M, Yang J K W, Dauler E A, Kerman A J, Anant V, Voronov B M, Gol'tsman G N, Berggren K K 2006 Opt. Express 14 527

    [18]

    Zhang L, Yan X, Jiang C, Zhang S, Chen Y, Chen J, Kang L, Wu P 2016 IEEE Photonics Technol. Lett. 28 2522

    [19]

    Zhang W J, You L X, Li H, Huang J, Lü C L, Zhang L, Liu X Y, Wu J J, Wang Z, Xie X M 2017 Sci. China Phys. Mech. Astron. 60 120314

    [20]

    Cristiano R, Parlato L, Nasti U, Ejrnaes M, Myoren H, Taino T, Sobolewski R, Pepe G P 2016 IEEE Trans. Appl. Supercond. 26 3

    [21]

    Akhlaghi M K, Schelew E, Young J F 2015 Nat. Commun. 6 8233

    [22]

    Wang Z, Kawakami A, Uzawa Y, Komiyama B, Wang Z, Kawakami A, Uzawa Y, Komiyama B 1996 J. Appl. Phys. 79 7837

  • [1]

    Gol'tsman G N, Okunev O, Chulkova G, Lipatov A, Semenov A, Smirnov K, Voronov B, Dzardanov A, Williams C, Sobolewski R 2001 Appl. Phys. Lett. 79 705

    [2]

    Marsili F, Verma V B, Stern J A, Harrington S, Lita A E, Gerrits T, Vayshenker I, Baek B, Shaw M D, Mirin R P, Nam S W 2013 Nat. Photon. 7 210

    [3]

    Zhang L, Kang L, Chen J, Zhong Y, Zhao Q, Jia T, Cao C, Jin B, Xu W, Sun G, Wu P 2011 Appl. Phys. B 102 867

    [4]

    Wu J, You L, Chen S, Li H, He Y, Lv C, Wang Z, Xie X 2017 Appl. Opt. 56 2195

    [5]

    Korneeva Y, Florya I, Semenov A, Korneev A, Goltsman G 2011 IEEE Trans. Appl. Supercond. 21 323

    [6]

    Hadfield R H, Habif J L, Schlafer J, Schwall R E, Nam S W 2006 Appl. Phys. Lett. 89 241129

    [7]

    Takesue H, Nam S W, Zhang Q, Hadfield R H, Honjo T, Tamaki K, Yamamoto Y 2007 Nat. Photon. 1 343

    [8]

    Li H, Chen S, You L, Meng W, Wu Z, Zhang Z, Tang K, Zhang L, Zhang W, Yang X, Liu X, Wang Z, Xie X 2016 Opt. Express 24 3535

    [9]

    Xue L, Li Z, Zhang L, Zhai D, Li Y, Zhang S, Li M, Kang L, Chen J, Wu P, Xiong Y 2016 Opt. Lett. 41 3848

    [10]

    Grein M E, Kerman A J, Dauler E A, Shatrovoy O, Molnar R J, Rosenberg D, Devoe C E, Murphy D V, Robinson B S, Boroson D M 2011 Design of a Ground-Based Optical Receiver for the Lunar Laser Communications Demonstration Santa Monica, CA, USA, May 11-13, 2011 p78

    [11]

    Zhao Q, Xia L, Wan C, Hu J, Jia T, Gu M, Zhang L, Kang L, Chen J, Zhang X, Wu P 2015 Sci. Rep. 5 10441

    [12]

    Zhu J, Chen Y, Zhang L, Jia X, Feng Z, Wu G, Yan X, Zhai J, Wu Y, Chen Q, Zhou X, Wang Z, Zhang C, Kang L, Chen J, Wu P 2017 Sci. Rep. 7 1

    [13]

    Qiu J, Xia H, Shangguan M, Dou X, Li M, Wang C, Shang X, Lin S, Liu J 2017 Opt. Lett. 42 4454

    [14]

    Shangguan M, Xia H, Wang C, Qiu J, Lin S, Dou X, Zhang Q, Pan J W 2017 Opt. Lett. 42 3541

    [15]

    Li H, Zhang L, You L, Yang X, Zhang W, Liu X, Chen S, Wang Z, Xie X 2015 Opt. Express 23 17301

    [16]

    Anant V, Kerman A J, Dauler E A, Yang J K W, Rosfjord K M, Berggren K K 2008 Opt. Express 16 10750

    [17]

    Rosfjord K M, Yang J K W, Dauler E A, Kerman A J, Anant V, Voronov B M, Gol'tsman G N, Berggren K K 2006 Opt. Express 14 527

    [18]

    Zhang L, Yan X, Jiang C, Zhang S, Chen Y, Chen J, Kang L, Wu P 2016 IEEE Photonics Technol. Lett. 28 2522

    [19]

    Zhang W J, You L X, Li H, Huang J, Lü C L, Zhang L, Liu X Y, Wu J J, Wang Z, Xie X M 2017 Sci. China Phys. Mech. Astron. 60 120314

    [20]

    Cristiano R, Parlato L, Nasti U, Ejrnaes M, Myoren H, Taino T, Sobolewski R, Pepe G P 2016 IEEE Trans. Appl. Supercond. 26 3

    [21]

    Akhlaghi M K, Schelew E, Young J F 2015 Nat. Commun. 6 8233

    [22]

    Wang Z, Kawakami A, Uzawa Y, Komiyama B, Wang Z, Kawakami A, Uzawa Y, Komiyama B 1996 J. Appl. Phys. 79 7837

  • [1] 王瑜浩, 武保剑, 郭飚, 文峰, 邱昆. 基于非线性光纤环形镜的少模脉冲幅度调制再生器研究. 物理学报, 2020, (): . doi: 10.7498/aps.69.20191858
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-09-03
  • 修回日期:  2018-10-12

氮化铌纳米线光学特性

  • 南京大学电子科学与工程学院, 南京 210093
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:61471189,11227904)和国家重点研发计划(批准号:2017YFA0304000)资助的课题.

摘要: 氮化铌(NbN)纳米线是超导纳米线单光子探测器(SNSPD)常用的光敏材料,其光学性质是影响SNSPD性能的关键因素.本文结合实验数据和仿真结果,系统研究了多种NbN超导纳米线探测器器件结构的光学特性,表征了以下四种器件结构下的反射光谱以及透射光谱:1)双面热氧化硅衬底背面对光结构;2)双面SiN硅衬底背面对光结构;3)硅衬底上以金层+SiN缓冲层为反射镜的正面对光结构;4)以分布式布拉格反射镜(DBR)为衬底的正面对光结构.并在上述四种器件结构基础上,生长了不同厚度的NbN薄膜,观察不同厚度NbN薄膜的吸收效率.经分析,发现在不同器件结构下的最佳NbN厚度与光吸收率的关系如下:双面热氧化硅衬底上的NbN层在1606 nm处最大吸收率为91.7%,其余结构在最佳NbN厚度条件下吸收率都能达到99%以上.其中双面SiN的硅衬底结构中最大吸收率为99.3%,mAu+SiN为99.8%,DBR为99.9%.最后,将DBR器件实测结果与仿真结果进行了差异性分析.这些结果对高效率SNSPD设计与研制具有指导意义.

English Abstract

参考文献 (22)

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