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微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究

顾有松 张永平 高鸿钧 张秀芳

微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究

顾有松, 张永平, 高鸿钧, 张秀芳
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-11-15
  • 修回日期:  2001-02-06
  • 刊出日期:  2001-07-20

微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究

  • 1. (1)北京科技大学材料物理系,北京100083; (2)中国科学院物理研究所,凝聚态物理中心北京真空物理实验室,北京100080
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19674009)资助的课题.

摘要: 采用微波等离子体化学气相沉积法,用高纯氮气(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在单晶Si(100)基片上沉积C3N4薄膜.利用扫描电子显微镜观察薄膜形貌,表明薄膜由密排的六棱晶棒组成.X射线衍射和透射电子显微镜结构分析说明该薄膜主要由β-C3N4和α-C3N4组成,并且这些结果与α-C3N4相符合较好.由虎克定律近似关

English Abstract

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