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溅射压强对TiN/SiNx纳米多层膜微观结构及力学性能的影响

安涛 王丽丽 文懋 郑伟涛

溅射压强对TiN/SiNx纳米多层膜微观结构及力学性能的影响

安涛, 王丽丽, 文懋, 郑伟涛
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  • 利用磁控溅射方法在不同溅射压强条件下制备了TiN/SiNx纳米多层膜.多层膜的微观结构及力学性能分别用X射线衍射仪、原子力显微镜及纳米压痕仪来表征.结果表明随着溅射压强的增大,多层膜的界面变模糊,TiN层的择优取向由(200)晶面过渡到(111)晶面.与此同时,多层膜的表面粗糙度增大,硬度和弹性模量随溅射压强的增大而减小.多层膜力学性能的差异主要是由于薄膜的周期性结构及致密度存在差异所致.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:50832001),吉林大学基本科研业务费(项目号:421060272467)资助的课题.
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    Greene, J E, Sundgren J-E, Hultman L, Petrov I, Bergstrom D B 1995 Appl. Phys. Lett. 67 2928

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    Chu X, Barnett S A 1995 J. Appl. Phys. 77 4403

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-20
  • 修回日期:  2010-05-12
  • 刊出日期:  2011-01-15

溅射压强对TiN/SiNx纳米多层膜微观结构及力学性能的影响

  • 1. (1)长春大学理学院,长春 130022; (2)长春大学理学院,长春 130022;吉林大学材料科学与工程学院,长春 130012; (3)吉林大学材料科学与工程学院,长春 130012
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50832001),吉林大学基本科研业务费(项目号:421060272467)资助的课题.

摘要: 利用磁控溅射方法在不同溅射压强条件下制备了TiN/SiNx纳米多层膜.多层膜的微观结构及力学性能分别用X射线衍射仪、原子力显微镜及纳米压痕仪来表征.结果表明随着溅射压强的增大,多层膜的界面变模糊,TiN层的择优取向由(200)晶面过渡到(111)晶面.与此同时,多层膜的表面粗糙度增大,硬度和弹性模量随溅射压强的增大而减小.多层膜力学性能的差异主要是由于薄膜的周期性结构及致密度存在差异所致.

English Abstract

参考文献 (15)

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