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多成分靶优先溅射的蒙特-卡罗计算

潘正瑛 陈建新 吴士明 霍裕昆

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多成分靶优先溅射的蒙特-卡罗计算

潘正瑛, 陈建新, 吴士明, 霍裕昆

MONTE CARLO CALCULATION OF PREFERENTIAL SPUTTE-RING IN MULTI-COMPONENT TARGET

PAN ZHENG-YING, CHEN JIAN-XIN, WU SHI-MING, HUO YU-KUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-03-17
  • 刊出日期:  1990-01-05

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