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Ni/a-Si多层膜中固相非晶化反应过程

汪卫华 白海洋 王文魁

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Ni/a-Si多层膜中固相非晶化反应过程

汪卫华, 白海洋, 王文魁

AMORPHIZATION REACTION PROCESS IN Ni/AMORPHOUS Si MULTILAYER

WANG WEI-HUA, BAI HAI-YANG, WANG WEN-KUI
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-09-22
  • 修回日期:  1997-12-19
  • 刊出日期:  1998-07-20

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