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氮对类金刚石薄膜的微观结构内应力与附着力的影响

居建华 夏义本 张伟丽 王林军 史为民 黄志明 李志锋 郑国珍 汤定元

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氮对类金刚石薄膜的微观结构内应力与附着力的影响

居建华, 夏义本, 张伟丽, 王林军, 史为民, 黄志明, 李志锋, 郑国珍, 汤定元

EFFECT OF NITROGEN ON THE RESIDUAL STRESS AND ADHESION OF DIAMOND-LIKE AMORPHOUS CARBON NITRIDE FILMS

JU JIAN-HUA, XIA YI-BEN, ZHANG WEI-LI, WANG LIN-JUN, SHI WEI-MIN, HUANG ZHI-MING, LI ZHI-FENG, ZHENG GUO-ZHEN, TANG DING-YUAN
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-04-02
  • 刊出日期:  2000-11-20

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