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生长温度对磁控溅射ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响

孙成伟 刘志文 秦福文 张庆瑜 刘 琨 吴世法

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生长温度对磁控溅射ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响

孙成伟, 刘志文, 秦福文, 张庆瑜, 刘 琨, 吴世法

Influences of growth temperature on the crystalline characteristics and optical properties for ZnO films deposited by reactive magnetron sputtering

Sun Cheng-Wei, Liu Zhi-Wen, Qin Fu-Wen, Zhang Qing-Yu, Liu Kun, Wu Shi-Fa
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-08-10
  • 修回日期:  2005-08-27
  • 刊出日期:  2006-03-20

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