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栅网与偏压对CHF3电子回旋共振放电等离子体特性的影响

叶 超 杜 伟 宁兆元 程珊华

引用本文:
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栅网与偏压对CHF3电子回旋共振放电等离子体特性的影响

叶 超, 杜 伟, 宁兆元, 程珊华

Effect of grid and bias on the characteristic of CHF3 electron cyclot ron resonance discharge plasma

Ye Chao, Du Wei, Ning Zhao-Yuan, Cheng Shan-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-09-16
  • 修回日期:  2002-11-08
  • 刊出日期:  2003-07-20

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