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电子回旋共振-射频双等离子体沉积氧化硅薄膜过程中的射频偏压效应

柯博 汪磊 倪添灵 丁芳 陈牧笛 周海洋 温晓辉 朱晓东

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电子回旋共振-射频双等离子体沉积氧化硅薄膜过程中的射频偏压效应

柯博, 汪磊, 倪添灵, 丁芳, 陈牧笛, 周海洋, 温晓辉, 朱晓东

Effects of radio-frequency bias on silicon oxide films deposited by dual electron cyclotron resonance-radio frequency hybrid plasma

Ke Bo, Wang Lei, Ni Tian-Ling, Ding Fang, Chen Mu-Di, Zhou Hai-Yang, Wen Xiao-Hui, Zhu Xiao-Dong
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-05-05
  • 修回日期:  2009-06-05
  • 刊出日期:  2010-01-05

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