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离子束溅射法薄膜生长中结瘤微缺陷的生长机理

张东平 齐红基 邵建达 范瑞瑛 范正修

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离子束溅射法薄膜生长中结瘤微缺陷的生长机理

张东平, 齐红基, 邵建达, 范瑞瑛, 范正修

Mechanism of nodule growth in ion beam sputtering films

Zhang Dong-Ping, Qi Hong-Ji, Shao Jian-Da, Fan Rui-Ying, Fan Zheng-Xiu
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-05-29
  • 修回日期:  2004-07-02
  • 刊出日期:  2005-03-17

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