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非平衡磁控溅射系统离子束流磁镜效应模型

牟宗信 李国卿 秦福文 黄开玉 车德良

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非平衡磁控溅射系统离子束流磁镜效应模型

牟宗信, 李国卿, 秦福文, 黄开玉, 车德良

The model of the magnetic mirror effect in the unbalanced magnetron sputtering ion beams

Mu Zong-Xin, Li Guo-Qing, Qin Fu-Wen, Huang Kai-Yu, Che De-Liang
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-06-28
  • 修回日期:  2004-08-04
  • 刊出日期:  2005-03-17

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