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电子束蒸发氧化锆薄膜的粗糙度和光散射特性

侯海虹 孙喜莲 申雁鸣 邵建达 范正修 易 葵

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电子束蒸发氧化锆薄膜的粗糙度和光散射特性

侯海虹, 孙喜莲, 申雁鸣, 邵建达, 范正修, 易 葵

Roughness and light scattering properties of ZrO2 thin films deposited by electron beam evaporation

Hou Hai-Hong, Sun Xi-Lian, Shen Yan-Ming, Shao Jian-Da, Fan Zheng-Xiu, Yi Kui
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-20
  • 修回日期:  2005-12-12
  • 刊出日期:  2006-03-05

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