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椭圆偏振技术研究VHF-PECVD高速沉积微晶硅薄膜的异常标度行为

谷锦华 丁艳丽 杨仕娥 郜小勇 陈永生 卢景霄

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椭圆偏振技术研究VHF-PECVD高速沉积微晶硅薄膜的异常标度行为

谷锦华, 丁艳丽, 杨仕娥, 郜小勇, 陈永生, 卢景霄

A spectroscopic ellipsometry study of the abnormal scaling behavior of high-rate-deposited microcrystalline silicon films by VHF-PECVD technique

Gu Jin-Hua, Ding Yan-Li, Yang Shi-E, Gao Xiao-Yong, Chen Yong-Sheng, Lu Jing-Xiao
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-06-24
  • 修回日期:  2008-11-03
  • 刊出日期:  2009-03-05

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