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低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究

王 森 俞国军 巩金龙 李勤涛 朱德彰 朱志远

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低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究

王 森, 俞国军, 巩金龙, 李勤涛, 朱德彰, 朱志远

Etching effects of low energy argon ion beam on porous anodic aluminum oxide membranes

Wang Sen, Yu Guo-Jun, Gong Jin-Long, Li Qin-Tao, Zhu De-Zhang, Zhu Zhi-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-15
  • 修回日期:  2005-07-25
  • 刊出日期:  2006-03-20

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