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离子束增强沉积制备p型氧化锌薄膜及其机理研究

袁宁一 李金华 范利宁 王秀琴 谢建生

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离子束增强沉积制备p型氧化锌薄膜及其机理研究

袁宁一, 李金华, 范利宁, 王秀琴, 谢建生

Preparation and mechanism of p-type ZnO films formed by modified ion beam enhanced deposition method

Yuan Ning-Yi, Li Jin-Hua, Fan Li-Ning, Wang Xiu-Qin, Xie Jian-Sheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-10-09
  • 修回日期:  2006-01-02
  • 刊出日期:  2006-07-20

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