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退火对含氮氟非晶碳膜结构及光学带隙的影响

蒋爱华 肖剑荣 王德安

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退火对含氮氟非晶碳膜结构及光学带隙的影响

蒋爱华, 肖剑荣, 王德安

Influence of annealing on structure and optical band gap of nitrogen doping fluorinated amorphous carbon films

Jiang Ai-Hua, Xiao Jian-Rong, Wang De-An
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-12-04
  • 修回日期:  2008-01-24
  • 刊出日期:  2008-09-20

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