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基于光栅分光法的相干衍射成像

刘诚 潘兴臣 朱健强

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基于光栅分光法的相干衍射成像

刘诚, 潘兴臣, 朱健强

Coherent diffractive imaging based on the multiple beam illumination with cross grating

Liu Cheng, Pan Xing-Chen, Zhu Jian-Qiang
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  • 提出一种可以通过单次曝光实现 PIE(ptychographic imaging engine)成像的方法, 该方法用正交光栅将入射细光束衍射为传播方向不同的子光束簇以对样品进行照明, 并用CCD同时记录各个子光束所形成的衍射光斑阵列. 该方法很好地克服了现有PIE方法的成像质量易受机械扫描误差影响和数据采集时间过长两个缺点, 具有很好的实用价值.
    A single shot PIE (ptychographic imaging engine) imaging method is proposed to overcome the disadvantages of common PIE algorithm. In this proposed method, a multiple beam illumination obtained with a cross grating is used to illuminate the object studied, and a CCD camera is adopted to record the diffraction pattern array of all the illumination beams simultaneously. The phase and the modulus images of the object can be faithfully reconstructed with stand PIE computation algorithm from the recorded data.
    • 基金项目: 中国科学院百人计划基金(批准号:1104331-JRO)资助的课题.
    • Funds: Project supported by the "100 Talents Project" of Chinese Academy of Sciences (Grant No. 1104331-JRO).
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  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2013-05-10
  • 修回日期:  2013-06-18
  • 刊出日期:  2013-09-05

基于光栅分光法的相干衍射成像

  • 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所, 高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
    基金项目: 中国科学院百人计划基金(批准号:1104331-JRO)资助的课题.

摘要: 提出一种可以通过单次曝光实现 PIE(ptychographic imaging engine)成像的方法, 该方法用正交光栅将入射细光束衍射为传播方向不同的子光束簇以对样品进行照明, 并用CCD同时记录各个子光束所形成的衍射光斑阵列. 该方法很好地克服了现有PIE方法的成像质量易受机械扫描误差影响和数据采集时间过长两个缺点, 具有很好的实用价值.

English Abstract

参考文献 (21)

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