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薄热氮氧化硅介质膜中的电流传导机构

郑学仁 刘百勇 陈斗南

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薄热氮氧化硅介质膜中的电流传导机构

郑学仁, 刘百勇, 陈斗南

CURRENT TRANSPORT MECHENISM IN THERMAL-LYNITRIDED SiO2 THIN FILMS

CHANG XUE-REN, LIU BAI-YONG, CHEN DOU-NAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-06-22
  • 刊出日期:  2005-07-08

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