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Si基Si3N4/SiO2双层膜驻极体的电荷储存与输运

张晓青 G.M.SESSLER 夏钟福 张冶文

引用本文:
Citation:

Si基Si3N4/SiO2双层膜驻极体的电荷储存与输运

张晓青, G.M.SESSLER, 夏钟福, 张冶文

CHARGE STORAGE AND TRANSPORTATION IN DOUBLE LAYERS OF Si3N4/SiO2 ELECTRET FILM BASED ON Si SUBSTRATE

ZHANG XIAO-QING, G.M.SESSLER, XIA ZHONG-FU, ZHANG YE-WEN
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-04-02
  • 修回日期:  2000-08-27
  • 刊出日期:  2001-01-05

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